等离子体加强原子层沉积相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

等离子体加强原子层沉积相关论文

基于高K复合介质的高密度MIM电容研究

随着集成电路的飞速发展,传统的多晶硅-绝缘体-多晶硅(PIP)或金属-氧化物-硅衬底(MOS)结构电容由于存在寄生电容、电压线性度差等......

学位

氧化铪锆钛酸钡氧化硅金属-绝缘体-金属电容反应离子溅射等离子体加强原子层沉积电容电压系数

看过本文同时还关注