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等离子体增强化学气相机机沉积相关论文

氮化硅薄膜转移技术与多孔硅基一维光子晶体制备研究

本项目探索一种利用多孔硅作为分离层实现功能薄膜或由此构成的器件的衬底转移的技术并探索该技术在三维集成以及射频电路中的应用......

学位

射频衬底损耗等离子体增强化学气相机机沉积键合环氧树脂多孔硅劈裂表征光子晶体全反射镜阳极氧化多孔硅禁带宽度反射谱折射率介电常数孔度

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