等离子体工艺相关论文
使用手机的人经常会遇到无电源而不能及时充电的苦恼，俄罗斯库尔恰托夫国家科学中心氢能与等离子体工艺研究所的研究人员解决了这一......
在深亚微米MOS集成电路制造中,等离子体工艺已经成为主流工艺.而等离子体工艺引起的栅氧化层损伤也已经成为限制MOS器件成品率和长......
介绍了与高密度等离子体工艺相关的模型和数值模拟方法，即连续流和动力学方法。在漂流-扩散方程的连续流模型和单元粒子/蒙特卡罗碰......
扼要综述了我国等离子体材料工艺研究的新近进展。内容包括：热等离子体源，等离子冶金、化工，超细粉合成，喷涂；低气压非平衡等离子体源，镀......
