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等离子体的发光光谱相关论文

电极结构对硅薄膜生长过程及材料特性的影响

在制备硅薄膜材料的PECVD系统中，分别采用普通平行板电极和网状电极，在相同的工艺条件下研究了电极结构对硅薄膜材料均匀性、电学性......

期刊

网状电极硅薄膜均匀性等离子体的发光光谱 showerhead electrode silicon films uniformity optical

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