等离子体辅助电子柬蒸发相关硕士博士期刊学术论文

摘要：研究高反射、减反射薄膜的膜系设计、薄膜材料的选取以及薄膜的制备工艺。以GaAs为基底用TXX-700箱式真空镀膜机通过电子束......