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等离子化学气相沉积工艺及设备相关论文
PCVD复合薄膜表面强化工艺及其应用技术研究
该文在国内外文献调研和相关试验考察的基础上,提出了工业生产型PCVD设备的设计要求,并研制了Φ800×600有效工作空间、射频、平行......
学位
等离子化学气相沉积工艺及设备
摩擦磨损
薄膜形成机理
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