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氧和氩等离子辅助电子束蒸发制备高质量ZnO薄膜
采用等离子辅助电子束蒸发技术制备高纯金属锌膜,然后在氧气气氛下经高温热处理得到氧化锌的多晶薄膜.X射线衍射谱的结果表明:未经......
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等离子辅助电子束蒸发技术
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