精制三氯氢硅相关论文
摘 要：三氯氢硅是改良西门子法生产多晶硅的一种基础原料，有效的控制精制三氯氢硅的质量，是提高多晶硅产品质量的关键。而影响精制三......
在改良西门子法多晶硅生产中,主要的中间产品为精制三氯氢硅和氢气,精制三氯氢硅、氢气的质量对多晶硅的质量有很大的影响,精制三......
在改良西门子法多晶硅生产中,精制三氯氢硅是主要的中间产品,精制三氯氢硅质量对多晶硅的质量有很大的影响,精制三氯氢硅来源于精......
