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氦气是稀缺性资源，针对用氦环节所排放的≥10％He 浓度的废氦气，本文介绍一种通用型的废氦气提纯技术，通过将废氦气回收提纯、循环......
四氟化碳（CF4）是一种无毒、不燃性气体，是电子工业中重要的等离子体蚀刻气体，主要用于硅、二氧化硅、氮化硅等薄膜材料的蚀刻。此外，在......
TiCl4作为氯化法钛白、海绵钛、钛系列化合物的主要原料,具有纯度高、质量稳定的要求.在TiCl4精制提纯过程中, AlCl3对精制提纯过......
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