精密刻划相关论文
给出了采用光栅刻划和镀膜技术相结合研制光盘分束光栅的方法。采用光栅刻划机在金属膜上刻制占宽比为0.5的黑白光栅,并由黑白光栅翻......
用面阵CCD对刻线进行二维瞄准定位,具有精度高,速度快的优点。本文介绍了亚象素细分定位的原理,瞄准精度的测量方法,以及所能达到的精度。......