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精密狭缝相关论文

超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析

针对上海光源X射线干涉光刻（XIL）光束线对狭缝精度的要求,提出了一种应用于超高真空的精密四刀狭缝机构及热缓释方案。给出了四刀狭......

期刊

X射线干涉光刻光束线精密狭缝四刀结构重复精度有限元分析 X-ray Interferometric Lithography（XIL） beamline

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