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用三氯氧磷作硅中磷扩散
本文介绍了以POCl_3为材料源作硅中磷扩散的系统研究工作。特别是确定了实现仅受磷在硅中溶解度限制的扩散在POCl_3-O_2-N_2系统中......
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三氯氧磷
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系统研究工作
临界值
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