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紫外光退火相关论文
基于低温溶液工艺的氧化物半导体器件及其应用的研究
现代显示技术对高性能薄膜晶体管(Thin film transistor,TFT)的需求促进了氧化物半导体(Oxide semiconductor)的快速发展。近年来,氧化......
学位
氧化物半导体器件
薄膜晶体管
氧化锌
低温溶液法
紫外光退火
紫外光探测器
薄膜晶体管中绝缘层的研究现状与趋势
本文主要介绍了绝缘层在薄膜晶体管中的重要作用,总结了在薄膜晶体管中应用的绝缘层材料种类及其特点,介绍了不同绝缘层的制备工艺......
期刊
薄膜晶体管
溶胶凝胶法
紫外光退火
低温工艺
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