紫外深度光刻相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

紫外深度光刻相关论文

SU-8紫外深度光刻的误差及修正(英文)

在深紫外LIGA加工中,制作高精度大高宽比的微器件是很困难的。难点在于SU-8光刻胶对紫外光的吸收系数随着波长变短而很快变大,而且......

期刊

SU-8光刻胶光刻胶校正过程紫外深度光刻掩模衍射效应曝光剂量蝇眼透镜紫外光波图形转移

SU-8紫外深度光刻的误差及修正

在深紫外LIGA加工中,制作高精度大高宽比的微器件是很困难的.难点在于SU-8光刻胶对紫外光的吸收系数随着波长变短而很快变大,而且......

期刊

SU-8光刻胶紫外深度光刻图形转移误差修正校正系统

看过本文同时还关注