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紫外石英相关论文
193nm紫外石英光学特性研究
本论文主要工作: 紫外石英作为DUV光学元件的核心材料,对193nm光学系统的性能有重要的影响。本论文针对紫外石英的荧光光谱、紫外......
学位
紫外石英
荧光测量
紫外吸收
缺陷生成机理
光学特性
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