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紫外线厚胶光刻技术相关论文
紫外线厚胶光刻技术研究及应用
紫外线厚胶光刻技术已广泛应用于3D微机械结构的制作.本文选用AZ4620和SU-8两种光刻厚胶,采用德国卡尔*休斯公司的MA-6双面对准光......
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紫外线厚胶光刻技术
SU-8
AZ4620
双面对准光刻机
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