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纳米微动工作台相关论文
纳米工作台机械结构优化设计
随着MEMS(微机电系统)技术的发展,微芯片、微光学元件、微机械零件以及其它各种微器件不断出现,它们的几何尺寸多在微米至亚微米量级,测......
学位
大行程纳米工作台
纳米微动工作台
纳米驱动导向
结构动态优化设计
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