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纳米节距标准相关论文

原子光刻制备铬原子纳米条纹的实验研究

原子光刻技术可以制备高重复性的铬原子纳米条纹光栅,这种光栅可以作为纳米节距标准,实现对高精度的扫描探针式显微镜、电子显微镜......

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原子光刻原子沉积纳米节距标准激光准直 atom lithography atom deposition nano pitch standard laser

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