线性角编码器相关硕士博士期刊学术论文

在超精密测量和控制技术中，越来越要求测量步长达１ｎｍ，角分辨达０．００１角秒。为达到如此高的分辨率，测量标准需有很小的栅格周期，和干涉方法才能扫......