该文以a-Si薄膜的低温、快速晶化为目标,从实验和理论上开展了深入的研究.着重深入研究了Al诱导横向晶化的p-Si薄膜的形貌、微结与......

采用深能级瞬态谱仪（ＤＬＴＳ）测试多晶硅ｎ＾＋ｐ二极管势垒区深能级谱。利用ＤＬＴＳ实验结果，对Ｇ．Ｂａｃｃａｒｉｎａ等提出的均匀陷阱模型进行修正，提出多晶硅晶粒间界的线性陷阱......