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线距标准装置相关论文

利用一维光栅标样校准扫描电子显微镜方法的研究

提出了扫描电子显微镜量值溯源的测量方法，对3种类型的10台电镜进行了比对实验。实验数据溯源于国家长度基准。比对实验选取显微镜......

期刊

计量学扫描电子显微镜纳米光栅线距标准装置一维光栅长度基准 Metrology Scanning electron microscope （ SEM

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