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线锯磨损相关论文
多线摇摆往复式线锯切割大尺寸单晶碳化硅的试验研究
碳化硅材料由于其独特而稳定的物理和半导体性能,使集成电路工业发生了革命性的变化。碳化硅电子技术正在从研究阶段向商业化生产......
学位
碳化硅
多线摇摆往复式切割
切割工艺
切片质量
线锯磨损
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