绝缘填充槽相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

绝缘填充槽相关论文

基于硅塑性变形工艺的二维驱动器的设计与制作

基于MEMS技术的非平面内静电梳齿驱动器在光通信和图像显示领域有重要应用，近年来成为国内外研究的热点。　　论文首先根据静电梳......

学位

二维驱动器绝缘填充槽梳齿驱动硅塑性变形工艺

基于Si塑性变形的二维驱动器的设计

设计并制作了一种新型的基于Si塑性变形的二维驱动器,驱动器由外围垂直驱动和内部水平驱动两部分组成。驱动器的制作采用普通Si片S......

期刊

二维驱动器塑性变形绝缘填充槽梳齿驱动垂直位错

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