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绝缘硬脆材料相关论文
激光电化学放电复合加工绝缘硬脆材料技术研究
近年来,在微细加工技术和微器件整合等技术的推动下,微机电系统(MEMS)的发展迎来了空前的机遇,MEMS 器件被广泛应用于通讯、航空、生......
学位
绝缘硬脆材料
激光加工
电化学放电加工
基于电化学放电和皮秒激光的玻璃材料加工特性研究
近些年,随着科技革命的演进,微机电系统(MEMS)在越来越多的领域和行业被应用。其中以玻璃为代表的绝缘硬脆材料在MEMS器件中被广泛......
学位
电化学放电加工
皮秒激光
绝缘硬脆材料
复合加工
微通道加工
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