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脉冲弧沉积相关论文

多弧离子镀弧源靶工作条件对氮化钛薄膜中钛液滴的影响

本文研究了阴极靶弧电流大小、阴极靶表面热弧斑运动轨迹的电磁场控制、以及阴极靶脉冲弧沉积对多弧离子镀 Ti N薄膜中 Ti液滴的影......

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液滴氮化钛薄膜多弧离子镀阴极电磁场控制脉冲弧沉积运动轨迹钛液滴磁场控制薄膜沉积

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