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准分子激光直刻横向影响区实验研究
采用248nm KrF准分子激光直接刻蚀金属和半导体,在加工后的试件表面上观察到了横向影响区.将其定义为两个部分,通过各部分的大小和......
期刊
准分子激光
直刻
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脉冲激光参数
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基于微纳器件的光热测量与听神经光敏效应实验研究
光与生物组织相互作用可产生一些特殊效应,由于光信号空间分辨率高等优点,在生物医学工程领域广受关注。已有技术——人工耳蜗以电......
学位
光热效应
薄膜热电偶
脉冲激光参数
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