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脊形波导-单模光纤耦合相关论文
基于MEMS悬臂梁的光学声压传感器
在声学系统的应用或开发过程中,声压的测量、声波波形的还原、声波频率的确定都具有重要的意义。目前,市面上的声压传感器大多是基......
学位
MEMS悬臂梁
声压传感
脊形波导-单模光纤耦合
法布里-帕罗腔
加速度传感
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