腔室压力相关论文
金刚石不仅可以作为一种宝石,而且还作为一种具有特殊的物理、化学和光学性质的材料,在不同领域均有应用价值。因为其拥有的高强度......
基于Matlab/Simulink建立了压电执行器非线性数学模型来描述执行器的电-机转换过程,在试验的基础上对压电材料的压电常数和电容进......
研究了在等离子体增强化学气相沉积（PECVD）法制备氮化硅薄膜时，射频功率和腔室压力对氮化硅薄膜应力的影响以及应力与沉积速率的关系......
期刊
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
