腔室结构实验设计相关硕士博士期刊学术论文

等离子增强化学气相沉积(PECVD)在半导体及薄膜材料制备中应用广泛,是重要的薄膜沉积工艺方法之一,其特点为工艺腔室内部系统复杂,......