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脉冲激光诱导液滴等离子体的研究
随着半导体产业的发展,芯片集成度得到了大幅度提升,对于制备芯片至关重要的光刻技术也需要进一步提高。未来最有发展前景的光刻技术......
学位
脉冲
激光诱导
液滴发生器
激光等离子体
膨胀速度
电子温度
等离子体电子密度
激光功率密度
冲击波
极紫外光源
时间
膨胀距离
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