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自支撑GaN衬底相关论文
自支撑GaN衬底的HVPE生长特性研究
GaN基半导体器件发展迅速并且拥有广阔的市场前景。但是,由于受异质外延技术的限制,器件性能的进一步提高变得十分困难,特别是高亮......
学位
半导体器件
生长特性
自支撑GaN衬底
脉冲气流调制
原位刻蚀
自分离技术
厚膜材料
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