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自适应进化优化相关论文
中心组合设计法在静电吸盘绝缘层结构优化中的应用
为研究等离子体刻蚀中静电吸盘绝缘层结构对晶圆温度分布均匀性影响,建立了晶圆与静电吸盘三维传热模型,采用中心组合设计方法分析了......
期刊
静电吸盘
晶圆传热
中心组合设计
自适应进化优化
结构优化
Electrostatic Chuck
Heat Transfer
Central Compos
多目标粒子群优化算法及其应用研究
在很多工程应用问题中经常有多个目标需要同时优化,并且这多个目标往往是互相冲突的,这类问题被称之为多目标优化问题。与单目标优......
学位
多目标优化
粒子群优化
进化状态评估
自适应进化优化
物资调度
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