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菱形靶相关论文

等离子体基离子注入菱形靶鞘层扩展的流体动力学模拟

利用流体动力学模型,研究了围绕菱形靶的等离子体鞘层扩展.通过改变靶的形状,考察了不同角度外角对鞘层的时空演化及等离子体参量......

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等离子体基离子注入流体动力学模型数值计算表面处理金属菱形靶鞘层扩展 plasma based ion implantation fluid dyn

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