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为满足生产和科研的需要,达到以低成本加工出高精度产品的要求,我们在某些方面对LZM-6B型行星式单臂研磨抛光机进行了改造。结果表......
针对传统双面抛光机存在的抛光过程中的加载均匀性问题,对抛光机传动机构进行优化改进设计,并在此抛光机上对硅晶片进行抛光加工试......
本文针对一种行星式研磨抛光机的通用夹具进行技术改造。采用了行星式可更换内部复合夹具以节省夹具制作时间和夹具的灵活性,采用......
本课题对原有LZM-6B型行星式单臂研磨抛光机进行了某些方面的改造:采用封闭式龙门箱形的主体式结构以提高机床的刚度及稳定性;改善......