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X射线衍射对离子束混合形成硅化物品粒度的研究
用X衍射测定了离子束混合所形成铂硅化物的衍射线宽,并计算出了其晶粒大小.发现混合时的注入剂量和后退火温度都会影响其晶粒大小.......
期刊
衍射线宽
离子束混合
品粒度
硅化物
line width
ion beam mixing
grain-size
silicide.
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