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表面寄生电导效应相关论文
改性离子注入高阻SOI衬底的共面波导特性研究
因良好的射频性能,高阻SOI(High-ResistivitySilicon-on-Insulator,HR-SOI)被广泛应用于射频集成电路(RFICs)。通过提取共面波导传......
期刊
高阻SOI
共面波导传输线
射频损耗
表面寄生电导效应
硅离子注入
TR-SOI
HR-SOI CPW RF loss PSC Si implantation
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