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表面微机械加工工艺相关论文
开关型MEMS移相器的建模与仿真研究
毫米波MEMS器件由于其具有损耗低、体积小、重量轻及与其它加工工艺相兼容等特点,已经被广泛地应用在相控阵雷达、微波通信、卫星......
学位
RF MEMS
DMTL移相器
锯齿形结构
人工神经网络
表面微机械加工工艺
RF MEMS开关及移相器的分析与设计
RF MEMS开关和移相器由于其损耗低、体积小、重量轻及易与其他微电子加工工艺相兼容等特点,在相控阵雷达、微波通信、卫星通信以及......
学位
RF MEMS
开关
移相器
改进的T型匹配结构
表面微机械加工工艺
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