以电子辅助热丝化学气相沉积（Electron-assisted Chemical Vapor Deposition，EACVD）一体化系统为研究对象，根据金刚石沉积过程中对衬底......

掺硼金刚石（Boron doped diamond,简称BDD）具有良好的导电性、很宽的电化学窗口、很小的背景电流、高的化学和电化学稳定性、高的抗......