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规模化装配相关论文
基于微纳操控的石墨烯纳米器件制造基础理论与关键技术研究
随着微电子器件微型化的进程,‘硅工艺’正面临着严峻的挑战。而新兴的纳米制造技术将突破传统半导体制造工艺的极限,克服短通道效应......
学位
石墨烯纳米器件
制造技术
纳米操作机器人
晶向检测
规模化装配
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