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降低表面波纹误差的加工轨迹优化方法

提出了一种降低光学元件表面波纹误差的加工方法。从中高频误差的产生过程出发,在常用的光栅型加工轨迹的步进方向上叠加一个随机......

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光学加工计算机控制表面波纹误差随机轨迹轨迹优化 optical manufacture computer control surface ripple

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