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大口径非球面表面形状测量关键技术研究
针对目前大口径非球面元件的测量精度受限于仪器回转基准的空间回转运动误差,尤其是受限于轴向跳动等轴向回转运动误差的技术瓶颈,以......
学位
大口径非球面
单转位误差分离
轴向空间回转误差
调心调倾
激光差动共焦
过零触发
表面形状测量
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