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谐振耦合换能器相关论文

高频声表面波材料及器件制备工艺的研究

研究了磁控溅射和电子束蒸镀工艺对在LiNbO3基片上沉积铝膜的结构、表面形貌的影响.采用匀胶、曝光和反应离子刻蚀工艺,制备出中心......

期刊

铝薄膜声表面波材料 LINBO3 谐振耦合换能器 Al thin films SAW filter materials LiNbO_3 longitudi

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