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负性抗蚀剂相关论文

一种自交联聚合物的合成及其在水显影化学增幅型负性抗蚀剂中的应用

本文引入单体MAGME合成了具有自交联作用的MAGME、苯乙烯和N ( 4 羟基苯基 )马来酰亚胺的共聚物 ,并以该聚合物为基体树脂 ,研制......

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交联聚合物合成水显影化学增幅负性抗蚀剂

文献与摘要（101）

光刻法的化学机理Photolithography Chemistry Basics光致成像技术在上世纪七八十年代就在PCB制造中应用了，并有书籍介绍，为了图形线......

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正性抗蚀剂摘要文献化学机理结构变化负性抗蚀剂成像技术书籍介绍

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