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随着MEMS(微电子机械系统)技术的迅速发展,基于SU-8胶的UV-LIGA技术得到了广泛的应用。SU-8光刻胶已成为制作高深宽比结构的首选光......
利用超声时效技术减小聚合物SU-8光刻胶的内应力,讨论了其机理.以基片曲率法为基础,建立了轮廓法测量SU-8胶层内应力的计算模型.实......
高聚物SU-8光刻胶是一种基于EPON SU-8环氧树脂的负性、近紫外光刻胶。它具有优良的物理、机械以及抗化学腐蚀等性能,因此SU-8光刻......
随着微机电系统(MEMS)的迅速发展,SU-8光刻胶作为制作高深宽比结构的首选胶,已经被广泛地应用于MEMS研究领域。然而SU-8胶在工艺过......
