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超精密垂直运动系统相关论文
超精密垂直运动系统静动态特性建模及几何误差分析
基于机械切削方法加工微结构和微零件,由于其加工效率高、成本低及加工材料范围广泛等特点,越来越引起人们重视。具备超精密垂直运......
学位
超精密垂直运动系统
液体静压导轨
设计鲁棒性
动态特性分析
几何误差均化
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