边缘过抛相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

边缘过抛相关论文

抛光转速对砷化镓双面抛光片表面平整度的影响

砷化镓双面抛光片的平整度不仅影响光刻过程中的对焦精度,而且双抛过程中的边缘过抛现象,即砷化镓晶片边缘去除速率增加,使得在后......

期刊

双面抛光边缘过抛全局平整度局部平整度抛光盘转速内外齿圈转速

双面抛光去除非均匀性研究

随着半导体集成电路的发展,硅片的直径逐渐增大。虽然小直径硅片仍采用单面抛光加工,但为追求较好的抛光质量,双面抛光已逐渐成为......

学位

双面抛光数值模拟去除非均匀性边缘过抛局部平整度

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