基于过饱和掺杂硅材料制备的光电探测器表现出低电压高增益、可见光到近红外波段宽光谱响应等优点,主要介绍了飞秒激光过饱和掺杂......

硫系元素过饱和掺杂硅材料具有宽光谱高吸收的特性，且掺杂元素在适当条件下能够释放价电子成为自由载流子，使掺杂层成为重掺N+层，这些......

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飞秒激光利用其超快的作用时间、超强的峰值功率的特性,可以与半导体材料表面发生瞬态光化学反应,从而对材料进行有效的掺杂,且可......