选区刻蚀相关硕士博士期刊学术论文

探索了一种新的微透镜阵列制作工艺，使用二氧化碳激光在聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）表面进行选区刻蚀，研制出表面光洁、尺寸和曲率可控的微......