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透射反射干涉相关论文

基于白光透射反射干涉的形貌重构方法验证

利用扫描白光干涉的测量方法，通过透射反射干涉的方式，对覆盖不同层数透明薄膜GaAs台阶结构进行透射测试，实现了对覆盖透明薄膜的GaAs......

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扫描白光干涉 GaAs台阶结构透射反射干涉三维形貌还原零光程差 white light scanning interference GaAs step s

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