重掺锑硅单晶相关论文
本文通过对重掺锑硅单晶在室温压痕下产生的位错在高温热处理后滑移的观测,研究了氮对重掺锑硅单晶中位错的作用.实验表明,重掺锑......
对大直径重掺锑硅单晶中流动图形缺陷(FPDs)进行了研究.利用高温快速退火工艺(RTA),将重掺锑硅片在N2,Ar,H2三种不同气氛下进行热......
